臭氧分析儀采用原電池微庫(kù)侖原理制造。儀器具有靈敏度高、測(cè)量快速、穩(wěn)定等特點(diǎn)。是分析大氣中臭氧含量的儀器、低濃度臭氧分析儀適用于對(duì)環(huán)境大氣濃度的監(jiān)測(cè)及臭氧發(fā)生源，例如：負(fù)離子發(fā)生器、復(fù)印機(jī)、臭氧消毒柜、臭氧空氣消毒設(shè)備、醫(yī)用臭氧消毒設(shè)備等的臭氧泄漏狀況進(jìn)行監(jiān)測(cè)、高濃度臭氧分析儀適用于臭氧發(fā)生器制造企業(yè)檢測(cè)產(chǎn)品的臭氧發(fā)生濃度，各衛(wèi)生防疫部門對(duì)臭氧殺菌消毒產(chǎn)品的檢測(cè)。
化學(xué)檢測(cè)法：
1、碘量法：碘量法是常用的臭氧測(cè)定方法，我國(guó)和許多國(guó)家均把此法作為測(cè)定氣體臭氧的標(biāo)準(zhǔn)方法，我國(guó)建設(shè)部發(fā)布的《臭氧發(fā)生器臭氧濃度、產(chǎn)量、電耗的測(cè)量》標(biāo)準(zhǔn)CJ/T30282—94中即規(guī)定使用碘量法。其原理為強(qiáng)氧化劑臭氧與碘化鉀水溶液反應(yīng)生成游離碘，臭氧還原為氧氣。
2、比色法：比色法是根據(jù)臭氧與不同化學(xué)試劑的顯色或脫色反應(yīng)程度來確定臭氧濃度的方法，按比色手段分為人工色樣比色與光度計(jì)色，此法多用于檢測(cè)水溶解臭氧濃度。
國(guó)內(nèi)檢測(cè)瓶裝水臭氧溶解濃度有使用碘化鉀等比色液的，其方式是利用檢測(cè)樣品顯色液管相比較，確定測(cè)樣臭氧溶解度值，要求準(zhǔn)確的，則利用分光光度計(jì)檢測(cè)。
3、檢測(cè)管：將臭氧氧化可變化試劑浸漬在載體上，作為反應(yīng)劑封裝在標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)徑的玻璃管內(nèi)做成測(cè)管，使用時(shí)將檢測(cè)管兩端切斷，把抽氣器接到檢測(cè)管出氣端吸取定量臭氧氣體，臭氧濃度與檢測(cè)管內(nèi)反應(yīng)劑柱變色長(zhǎng)度成正比，通過刻度值讀取濃度值。德國(guó)、日本和我國(guó)都生產(chǎn)臭氧檢測(cè)管，濃度范圍分為高（1000ppm）、中（10ppm）、低（3ppm）三種，用于檢測(cè)空氣臭氧濃度，適于現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用，使用簡(jiǎn)便，但精度低（為±15%）。
物理方法：
物理方法分析臭氧在上流行的是紫外線吸收法。它是利用臭氧對(duì)254nm波長(zhǎng)的紫外線特征吸收的特性，依據(jù)比爾—郎伯定律制造出的分析儀器，只要選擇合適長(zhǎng)度的吸收池，就可以檢測(cè)0.002mg/m3—5%（vol）濃度的臭氧。其線形在4—5個(gè)數(shù)量級(jí)內(nèi)都很好，該法已被我國(guó)作為環(huán)境空氣中測(cè)定臭氧的標(biāo)準(zhǔn)方（GB1/T1154348）。
紫外線吸收法不但可以適用于檢測(cè)氣體中臭氧濃度，也可以檢測(cè)水中溶存的臭氧濃度。
